ウエハー用ドライエッチング装置市場2025年（世界主要地域と日本市場規模を掲載）：シリコンエッチング、誘電体エッチング、導体エッチング

ウエハー用ドライエッチング装置は、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たしています。この装置は主にシリコンウエハーから特定の材料を選択的に除去するために使用され、微細なパターンを形成するための基本的な手段となります。ドライエッチングは、湿式エッチングと対照的に、液体薬品を使用せずに気体を用いて行われるため、より精密な加工が可能です。

ドライエッチングの概念は、プラズマを用いた加工技術に基づいています。プラズマは、ガスを高エネルギー状態にして電離させたもので、イオン、電子、原子などが含まれています。このプラズマを使用して、ウエハー表面の材料を化学的または物理的に除去するプロセスが進行します。ドライエッチングは、特に微細加工を必要とする半導体デバイスの製造において、その高い精度と制御性から広く採用されています。

ウエハー用ドライエッチング装置には、さまざまな種類があります。最も一般的なものは、反応性イオンエッチング（RIE）装置です。この装置では、プラズマとイオンの相互作用を利用して、ウエハー表面の材料を選択的に除去します。深さや形状制御が可能で、高いアスペクト比のパターン形成ができる点が特徴です。さらに、等方性エッチングと異方性エッチングの両方が実現可能です。

次に、等方性ドライエッチング技術の一つである、クリティカルレシピエッチング（CRE）があります。この方法は、主にシリコン基板の加工に使用され、均一なエッチング深さを得ることができる点が魅力です。また、特定の波長の光を利用してエッチングプロセスを制御するレーザーエッチング装置も存在し、高精度なパターン形成を実現します。

ドライエッチング装置は、半導体デバイスだけでなく、MEMS（微小電気機械システム）、光電子デバイス、太陽電池などの製造にも利用されています。これらの用途では、材料の除去だけでなく、パターン形成や構造作りが重要となります。特に微細化が進む近年の技術革新において、ドライエッチング技術はますます不可欠なものとなっています。

関連技術としては、さらなる精度を求めるためのマスク技術、化学的選択性を持つエッチングガスの開発、エッチングプロセスのモニタリング技術（リアルタイムでのプロセス評価）などがあります。これにより、エッチングの精度向上やプロセスの効率化が図られています。

また、環境負荷の低減が求められる中で、ウエハー用ドライエッチング装置にもエネルギー効率やガス使用量の削減が求められています。これらの技術革新は、持続可能な半導体製造プロセスの実現に向けた重要な課題とされています。

ウエハー用ドライエッチング装置は、半導体産業の成長とともに変化を続け、新しい材料やプロセスに対応した装置が開発されています。今後も技術の進展により、ますます高度な加工が可能となり、より複雑なデバイスの製造が実現されるでしょう。これにより、エレクトロニクス、通信、医療、輸送などさまざまな分野での応用が進むことが期待されます。ドライエッチング技術は、半導体製造の根幹を支える重要な要素であり、今後の産業発展においても不可欠な技術となっていくでしょう。

世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場規模は2024年に206億2800万米ドルであり、2025年から2031年の予測期間中に年平均成長率（CAGR）7.3％で成長し、2031年までに336億1500万米ドルに拡大すると予測されている。 2025年までに、米国関税政策の変遷は世界経済情勢に大きな不確実性をもたらす見込みである。本レポートは最新の米国関税措置と世界各国の対応政策を分析し、ウェハー用ドライエッチング装置市場の競争力、地域経済パフォーマンス、サプライチェーン構成への影響を評価する。
ドライエッチング装置の基本設計には、真空チャンバー、特殊ガス供給システム、プラズマへの電力供給用高周波（RF）波形発生器、ウエハー固定用加熱チャック、排気システムが含まれる。
世界のウェーハ用ドライエッチング装置トップ5企業は、ラムリサーチ、東京エレクトロン、アプライドマテリアルズ、日立ハイテク、SEMESであり、これらで市場シェアの約95%を占め、業界は比較的集中している。生産拠点は主に北米と日本に位置し、北米が市場シェアの約60%を占め最重要生産拠点であり、次いで日本が続く。製品タイプ別では、シリコンエッチング、誘電体エッチング、導体エッチングに分類され、シリコンエッチングと誘電体エッチングがそれぞれ約50％の市場シェアを占める。用途別ではIDM（垂直統合型半導体メーカー）とファウンドリ（受託製造）の2種類に分けられ、IDMが約75％の市場シェアを占める。
世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場は、企業別、地域別（国別）、タイプ別、用途別に戦略的にセグメント化されています。本レポートは、2020年から2031年までの地域別、タイプ別、用途別の売上高、収益、予測に関するデータ駆動型の洞察を通じて、ステークホルダーが新たな機会を活用し、製品戦略を最適化し、競合他社を凌駕することを可能にします。
市場セグメンテーション
企業別：
ラムリサーチ
東京エレクトロン株式会社
アプライド マテリアルズ
日立ハイテク
SEMES
AMEC
ナウラ
SPTSテクノロジーズ（KLA）
オックスフォード・インスツルメンツ
ULVAC
プラズマ・サーム
ギガレーン
VM
Jusung Engineering
タイプ別：（主力セグメント対高マージン革新）
シリコンエッチング
誘電体エッチング
導体エッチング
用途別：（中核需要ドライバー対新興機会）
IDM
ファウンドリ
地域別
マクロ地域分析：市場規模と成長予測
– 北米
– ヨーロッパ
– アジア太平洋
– 南米
– 中東・アフリカ
マイクロローカル市場の詳細分析：戦略的インサイト
– 競争環境：既存プレイヤーの優位性と新興企業の台頭（例：欧州におけるラムリサーチ）
– 新興製品トレンド：シリコンエッチングの普及 vs. 誘電体エッチングの高付加価値化
– 需要側の動向：中国におけるIDMの成長 vs 北米におけるファウンドリの潜在力
– 地域別消費者ニーズ：EUの規制障壁 vs. インドの価格感応度
重点市場：
北米
欧州
中国
日本
韓国
（追加地域はクライアントのニーズに基づきカスタマイズ可能です。）
章の構成
第1章：レポートの範囲、エグゼクティブサマリー、市場進化シナリオ（短期/中期/長期）。
第2章：ウェーハ用ドライエッチング装置の市場規模と成長可能性に関する定量分析（グローバル、地域、国レベル）。
第3章：メーカーの競争力ベンチマーク（収益、市場シェア、M&A、R&Dの重点分野）。
第4章：タイプ別セグメント分析 – ブルーオーシャン市場の発見（例：中国における誘電体エッチング）。
第5章：用途別セグメント分析－高成長下流分野の機会（例：インドにおけるファウンドリ）。
第6章：企業別・タイプ別・用途別・顧客別の地域別売上高および収益内訳。
第7章：主要メーカープロファイル – 財務状況、製品ポートフォリオ、戦略的展開。
第8章：市場動向 – 推進要因、抑制要因、規制の影響、リスク軽減戦略。
第9章：実践的な結論と戦略的提言。
本レポートの意義
一般的なグローバル市場レポートとは異なり、本調査はマクロレベルの業界動向とハイパーローカルな運用インテリジェンスを融合。ウェーハ用ドライエッチング装置のバリューチェーン全体でデータ駆動型の意思決定を可能にし、以下に対応します：
– 地域別の市場参入リスク／機会
– 現地慣行に基づく製品構成の最適化
– 分散型市場と統合型市場における競合他社の戦略

1 市場概要
1.1 ウェーハ用ドライエッチング装置の製品範囲
1.2 ウェハー用ドライエッチング装置のタイプ別分類
1.2.1 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売量（2020年、2024年、2031年）
1.2.2 シリコンエッチング
1.2.3 誘電体エッチング
1.2.4 導体エッチング
1.3 用途別ウェーハ用ドライエッチング装置
1.3.1 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売比較（2020年、2024年、2031年）
1.3.2 IDM
1.3.3 ファウンドリ
1.4 世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場の推定と予測（2020-2031年）
1.4.1 世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場規模（金額ベース）の成長率（2020-2031年）
1.4.2 世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場規模（数量ベース）の成長率（2020-2031年）
1.4.3 世界のウェーハ用ドライエッチング装置の価格動向（2020-2031年）
1.5 仮定と制限事項
2 地域別市場規模と展望
2.1 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置市場規模：2020年 VS 2024年 VS 2031年
2.2 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置の過去市場シナリオ（2020-2025年）
2.2.1 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売市場シェア（2020-2025年）
2.2.2 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置収益市場シェア（2020-2025年）
2.3 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置市場予測（2026-2031年）
2.3.1 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売数量予測（2026-2031年）
2.3.2 地域別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置収益予測（2026-2031年）
2.4 主要地域および新興市場分析
2.4.1 北米におけるウェーハ用ドライエッチング装置の市場規模と展望（2020-2031年）
2.4.2 欧州におけるウェーハ用ドライエッチング装置の市場規模と展望（2020-2031年）
2.4.3 中国におけるウェーハ用ドライエッチング装置の市場規模と展望（2020-2031年）
2.4.4 日本におけるウェーハ用ドライエッチング装置の市場規模と展望（2020-2031年）
2.4.5 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の市場規模と展望（2020-2031年）
3 タイプ別グローバル市場規模
3.1 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置の過去市場レビュー（2020-2025年）
3.1.1 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置売上高（2020-2025年）
3.1.2 世界のウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別収益（2020-2025年）
3.1.3 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置価格（2020-2025年）
3.2 世界のウェーハ用ドライエッチング装置市場：タイプ別予測（2026-2031年）
3.2.1 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売予測（2026-2031年）
3.2.2 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置収益予測（2026-2031年）
3.2.3 タイプ別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置価格予測（2026-2031年）
3.3 各種ウェハー用ドライエッチング装置の代表的なプレーヤー
4 用途別グローバル市場規模
4.1 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置の過去市場レビュー（2020-2025年）
4.1.1 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売量（2020-2025年）
4.1.2 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置収益（2020-2025年）
4.1.3 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置価格（2020-2025年）
4.2 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置市場規模予測（2026-2031年）
4.2.1 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売予測（2026-2031年）
4.2.2 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置収益予測（2026-2031年）
4.2.3 用途別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置価格予測（2026-2031年）
4.3 ウェーハ用ドライエッチング装置アプリケーションにおける新たな成長源
5 主要企業別競争環境
5.1 主要企業別グローバルウェーハ用ドライエッチング装置販売量（2020-2025年）
5.2 売上高別グローバル主要ウェーハ用ドライエッチング装置メーカー（2020-2025年）
5.3 企業タイプ別（ティア1、ティア2、ティア3）および2024年時点のウェハー用ドライエッチング装置収益に基づくグローバル市場シェア
5.4 グローバルウェーハ用ドライエッチング装置の企業別平均価格（2020-2025年）
5.5 ウェーハ用ドライエッチング装置のグローバル主要メーカー、製造拠点及び本社所在地
5.6 ウェーハ用ドライエッチング装置のグローバル主要メーカー、製品タイプ及び用途
5.7 ウェーハ用ドライエッチング装置のグローバル主要メーカー、業界参入時期
5.8 メーカーの合併・買収、拡張計画
6 地域別分析
6.1 北米市場：主要企業、セグメント、下流産業及び主要顧客
6.1.1 北米におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高
6.1.1.1 北米におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高（2020-2025年）
6.1.1.2 北米におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別収益（2020-2025年）
6.1.2 北米におけるウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別売上高内訳（2020-2025年）
6.1.3 北米におけるウェハー用ドライエッチング装置の用途別売上高内訳（2020-2025年）
6.1.4 北米におけるウェーハ用ドライエッチング装置の主要顧客
6.1.5 北米市場の動向と機会
6.2 欧州市場：主要企業、セグメント、下流産業及び主要顧客
6.2.1 欧州におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高
6.2.1.1 欧州におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高（2020-2025年）
6.2.1.2 欧州におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別収益（2020-2025年）
6.2.2 欧州におけるウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別売上高内訳（2020-2025年）
6.2.3 欧州におけるウェハー用ドライエッチング装置の用途別販売台数内訳（2020-2025年）
6.2.4 欧州におけるウェーハ用ドライエッチング装置の主要顧客
6.2.5 欧州市場の動向と機会
6.3 中国市場：主要プレイヤー、セグメント、下流産業及び主要顧客
6.3.1 中国におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高
6.3.1.1 中国におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高（2020-2025年）
6.3.1.2 中国のウェハー用ドライエッチング装置の企業別収益（2020-2025年）
6.3.2 中国におけるウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別売上高内訳（2020-2025年）
6.3.3 中国ウェハー用ドライエッチング装置の用途別販売台数内訳（2020-2025年）
6.3.4 中国のウェーハ用ドライエッチング装置の主要顧客
6.3.5 中国市場の動向と機会
6.4 日本市場：主要企業、セグメント、下流産業及び主要顧客
6.4.1 日本におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高
6.4.1.1 日本におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高（2020-2025年）
6.4.1.2 日本のウェーハ用ドライエッチング装置の企業別収益（2020-2025年）
6.4.2 日本におけるウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別売上高内訳（2020-2025年）
6.4.3 日本におけるウェーハ用ドライエッチング装置の用途別売上高内訳（2020-2025年）
6.4.4 日本におけるウェーハ用ドライエッチング装置の主要顧客
6.4.5 日本市場の動向と機会
6.5 韓国市場：主要企業、セグメント、下流産業及び主要顧客
6.5.1 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高
6.5.1.1 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別売上高（2020-2025年）
6.5.1.2 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の企業別収益（2020-2025年）
6.5.2 韓国におけるウェーハ用ドライエッチング装置のタイプ別売上高内訳（2020-2025年）
6.5.3 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の用途別販売額内訳（2020-2025年）
6.5.4 韓国におけるウェハー用ドライエッチング装置の主要顧客
6.5.5 韓国市場の動向と機会
7 企業プロファイルと主要人物
7.1 ラムリサーチ
7.1.1 ラムリサーチ会社概要
7.1.2 ラムリサーチ事業概要
7.1.3 ラムリサーチのウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.1.4 ラムリサーチのウェハー用ドライエッチング装置提供製品
7.1.5 ラムリサーチの最近の動向
7.2 東京エレクトロン株式会社
7.2.1 東京エレクトロン株式会社 会社概要
7.2.2 東京エレクトロン株式会社の事業概要
7.2.3 東京エレクトロン株式会社のウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.2.4 東京エレクトロン株式会社 ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.2.5 東京エレクトロン株式会社の最近の動向
7.3 アプライド マテリアルズ
7.3.1 アプライド マテリアルズ 会社概要
7.3.2 アプライド マテリアルズ事業概要
7.3.3 アプライド マテリアルズ ウェハー用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.3.4 アプライド マテリアルズ ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.3.5 アプライド マテリアルズの最近の動向
7.4 日立ハイテク
7.4.1 日立ハイテク企業情報
7.4.2 日立ハイテク事業概要
7.4.3 日立ハイテクのウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.4.4 日立ハイテクが提供するウェーハ用ドライエッチング装置製品
7.4.5 日立ハイテクの最近の動向
7.5 SEMES
7.5.1 SEMES 会社情報
7.5.2 SEMESの事業概要
7.5.3 SEMES ウェハー用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.5.4 SEMES ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.5.5 SEMESの最近の動向
7.6 AMEC
7.6.1 AMEC 会社情報
7.6.2 AMECの事業概要
7.6.3 AMEC ウェハー用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.6.4 AMECが提供するウェーハ用ドライエッチング装置製品
7.6.5 AMECの最近の動向
7.7 NAURA
7.7.1 NAURA 会社情報
7.7.2 NAURAの事業概要
7.7.3 NAURA ウェハー用ドライエッチング装置の販売台数、収益、粗利益率（2020-2025年）
7.7.4 NAURA ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.7.5 NAURAの最近の動向
7.8 SPTSテクノロジーズ（KLA）
7.8.1 SPTSテクノロジーズ（KLA）会社概要
7.8.2 SPTSテクノロジーズ（KLA）事業概要
7.8.3 SPTSテクノロジーズ（KLA）のウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益、粗利益率（2020-2025年）
7.8.4 SPTSテクノロジーズ（KLA）が提供するウェーハ用ドライエッチング装置製品
7.8.5 SPTSテクノロジーズ（KLA）の最近の動向
7.9 オックスフォード・インスツルメンツ
7.9.1 オックスフォード・インスツルメンツ 会社情報
7.9.2 オックスフォード・インスツルメンツの事業概要
7.9.3 オックスフォード・インストゥルメンツのウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益、粗利益率（2020-2025年）
7.9.4 オックスフォード・インストゥルメンツのウェハー用ドライエッチング装置提供製品
7.9.5 オックスフォード・インストゥルメンツの最近の動向
7.10 ULVAC
7.10.1 ULVAC 会社情報
7.10.2 ULVACの事業概要
7.10.3 ULVAC ウェハー用ドライエッチング装置の販売台数、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.10.4 ULVAC ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.10.5 ULVAC の最近の動向
7.11 プラズマ・サーム
7.11.1 Plasma-Therm 会社情報
7.11.2 Plasma-Thermの事業概要
7.11.3 プラズマ・サーム社製ウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.11.4 プラズマ・サームが提供するウェーハ用ドライエッチング装置製品
7.11.5 プラズマ・サームの最近の動向
7.12 GigaLane
7.12.1 GigaLane 会社情報
7.12.2 GigaLaneの事業概要
7.12.3 GigaLane ウェハー用ドライエッチング装置の販売台数、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.12.4 GigaLane ウェハー用ドライエッチング装置 提供製品
7.12.5 GigaLaneの最近の動向
7.13 VM
7.13.1 VM 会社情報
7.13.2 VMの事業概要
7.13.3 VM ウェハー用ドライエッチング装置の販売台数、収益、粗利益率（2020-2025年）
7.13.4 VM ウェハー用ドライエッチング装置の製品ラインアップ
7.13.5 VMの最近の動向
7.14 ジュソンエンジニアリング
7.14.1 ジュソンエンジニアリング会社情報
7.14.2 ジュソンエンジニアリング事業概要
7.14.3 ジュソンエンジニアリングのウェーハ用ドライエッチング装置の売上高、収益及び粗利益率（2020-2025年）
7.14.4 ジュスンエンジニアリングのウェハー用ドライエッチング装置提供製品
7.14.5 ジュスンエンジニアリングの最近の動向
8 ウェーハ用ドライエッチング装置の製造コスト分析
8.1 ウェーハ用ドライエッチング装置主要原材料分析
8.1.1 主要原材料
8.1.2 主要原材料サプライヤー
8.2 製造コスト構成比
8.3 ウェーハ用ドライエッチング装置の製造工程分析
8.4 ウェーハ用ドライエッチング装置産業チェーン分析
9 販売チャネル、販売代理店および顧客
9.1 販売チャネル
9.2 ウェーハ用ドライエッチング装置販売代理店リスト
9.3 ウェーハ用ドライエッチング装置の顧客
10 ウェハー用ドライエッチング装置の市場動向
10.1 ウェハー用ドライエッチング装置業界の動向
10.2 ウェハー用ドライエッチング装置市場の推進要因
10.3 ウェハー用ドライエッチング装置市場の課題
10.4 ウェハー用ドライエッチング装置市場の抑制要因
11 研究結果と結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.1.1 方法論／調査アプローチ
12.1.1.1 研究プログラム／設計
12.1.1.2 市場規模の推定
12.1.1.3 市場細分化とデータ三角測量
12.1.2 データソース
12.1.2.1 二次情報源
12.1.2.2 一次情報源
12.2 著者情報
12.3 免責事項